Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography

Ed.: F. M. Schellenberg; General ed.: Brian J. Thompson

Цб I 4526

Издателство

SPIE PRESS

Местоиздаване

Washington

Година на издаване

2004

Страници

875 p.

Класификационен индекс

УДК	Значение
621.3	Електротехника

ISBN

0-8194-5166-5

Отрасъл

Техника. Стокознание. Енергетика

Системен №

17158

Инвентаризация

Статус	Брой
Централна библиотека - хранилище (Цб)	1

Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography. Washington: SPIE PRESS, 2004 875 p. 0-8194-5166-5.

(2004) Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography, Washington: SPIE PRESS 875 p. 0-8194-5166-5.

(2004). Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography. Washington: SPIE PRESS, 875 p.

Selected papers on resolution enhancement techniques in optical lithography. Washington: SPIE PRESS; 2004. p. 875 p. ISBN: 0-8194-5166-5.